ULVAC
Cryogenic · Two-stage GM-refrigerator cryopump
ULVAC CRYO-U Series
ULVAC Japan · Japan
ไครโอปั๊มจาก ULVAC CRYOGENICS ให้สุญญากาศสะอาดปราศจากน้ำมัน อัตราการดูดไอน้ำสูงมาก
- อัตราการดูด
- 750 – 28,000 L/s (N₂)
- สุญญากาศสูงสุด
- ≈ 10⁻⁸ mbar (ก่อน Bake-out)
งานที่เหมาะสม
จอแบน (FPD)เซมิคอนดักเตอร์เคลือบเลนส์
ข้อมูลจำเพาะเป็นช่วงค่าของทั้งซีรีส์ตามเอกสารของผู้ผลิต ค่าจริงขึ้นอยู่กับรุ่นและความถี่ไฟฟ้า กรุณาติดต่อเราเพื่อยืนยันสเปกและเลือกรุ่นที่เหมาะกับงานของคุณ





