
Turbomolecular · Turbomolecular, magnetic bearing
ULVAC UTM Series
ULVAC Japan · Japan
ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์แบริ่งแม่เหล็ก ตั้งแต่ UTM-50 จนถึงรุ่น UTM-MI ที่มีคอนโทรลเลอร์ในตัว
- อัตราการดูด
- 50 – 3,200 L/s (N₂)
- สุญญากาศสูงสุด
- 10⁻⁹ mbar
งานที่เหมาะสม
เซมิคอนดักเตอร์Sputteringเครื่องมือวิเคราะห์
ข้อมูลจำเพาะเป็นช่วงค่าของทั้งซีรีส์ตามเอกสารของผู้ผลิต ค่าจริงขึ้นอยู่กับรุ่นและความถี่ไฟฟ้า กรุณาติดต่อเราเพื่อยืนยันสเปกและเลือกรุ่นที่เหมาะกับงานของคุณ




