Dry Pump · Dry roots-type
ULVAC LR / HR Series
ULVAC Japan · Japan
ปั๊มแบบแห้งชนิด Roots หลายชั้น LR สำหรับ Load Lock และ PVD ส่วน HR สำหรับกระบวนการ CVD และ Etch
- อัตราการดูด
- 62 – 653 m³/h (50 Hz)
- สุญญากาศสูงสุด
- 5 × 10⁻² ถึง 6.7 × 10⁻³ mbar
งานที่เหมาะสม
เซมิคอนดักเตอร์PVD / CVDLoad Lock
สนใจสินค้านี้? สอบถามราคาได้เลย
สแกน QR เพื่อแอด LINE หรือเลือกช่องทางที่สะดวก ทีมงานตอบกลับโดยเร็ว
ข้อมูลจำเพาะเป็นช่วงค่าของทั้งซีรีส์ตามเอกสารของผู้ผลิต ค่าจริงขึ้นอยู่กับรุ่นและความถี่ไฟฟ้า กรุณาติดต่อเราเพื่อยืนยันสเปกและเลือกรุ่นที่เหมาะกับงานของคุณ
